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2020-04-06 10:44:26 0
高純氣體管道系統(tǒng)所用閥門(mén)的嚴(yán)密性有十分嚴(yán)格的要求,目前國(guó)內(nèi)實(shí)驗(yàn)室的高純氣體管道的閥門(mén)基本都采用SS316L不銹鋼材質(zhì),閥門(mén)型式有減壓閥、隔膜閥、波紋管閥和球閥。減壓閥也叫減壓器調(diào)壓閥,是專門(mén)控制氣體的壓力調(diào)節(jié)作用,波紋管閥的嚴(yán)密性比球閥好,在氣體流過(guò)閥門(mén)時(shí)沒(méi)有與外環(huán)境接觸的填料,所以沒(méi)有滲漏現(xiàn)象:隔膜閥除了嚴(yán)密性與波紋管閥相當(dāng)以外,還具有閥體死體積小,易吹除且污染少,所以適用于對(duì)氣體純度和生產(chǎn)工藝要求極嚴(yán)格或者危險(xiǎn)性大的氣體。
實(shí)驗(yàn)室高純氣體管道系統(tǒng)安裝要求
1、高純氣體一般采用卡套接頭連接和自動(dòng)氬弧軌道焊接,焊接型式通常采用承插焊和對(duì)焊,承插焊的好處在于施焊時(shí)管道的對(duì)中,方便焊接,但缺點(diǎn)是由于管道與承插口之間有間隙,會(huì)存在“死空間’不易將雜質(zhì)吹除,影響高純氣體質(zhì)量。因此對(duì)于要求極為嚴(yán)格的高純氣體來(lái)說(shuō),應(yīng)采用對(duì)接焊連接并要求內(nèi)表面無(wú)焊縫,即在施工時(shí)不得使用不銹鋼焊絲,利用母材的本身融化填滿焊縫。
2、為確保輸送至用氣設(shè)備的氣體質(zhì)量,高純氣體管道與用氣設(shè)備之間應(yīng)用不銹鋼金屬軟管連接,不宜采用非金屬軟管。
3、高純氣體管道與閥門(mén)等附件連接應(yīng)采用密封不易泄漏的專用接頭予以連接,常用的接頭方式有兩種:分別為VCR(Vacuum Coupling Retainer)和SWG(Swaglok),VCR采用優(yōu)良的金屬墊,利用縱向壓力壓緊,因此泄漏率極低,約為10~9A cc/s,且耐壓較高,常用于氣體雜質(zhì)含量1.0×10-9級(jí)的高純氣輸送系統(tǒng),而SWG則不如VCR,耐壓較低,基本上這兩種接頭方式的安全性足可代替焊接的方式。
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Scrubber尾氣處理系統(tǒng)等全套工程技術(shù)服務(wù)和配套產(chǎn)品的一站系統(tǒng)解決方案,公司于2018年榮獲“國(guó)家高新技術(shù)企業(yè)”認(rèn)定。