特氣系統(tǒng)是用于保證特種氣體安全使用的系統(tǒng)，大致由特氣設(shè)備、特種氣體管道和使用終端三部分組成，其中，特氣柜是特氣系統(tǒng)的核心設(shè)備，關(guān)系著穩(wěn)定輸送氣體、保證特種氣體的使用安全和人員安全等功能。

特種氣體的氣體性質(zhì)可以滿(mǎn)足行業(yè)的工藝需求，被廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、電子、液晶、光伏和太陽(yáng)能電池等行業(yè)領(lǐng)域，但同時(shí)，特種氣體大多都是危險(xiǎn)性氣體，如SiH4、NF3等。所以保證特種氣體安全使用，是特氣系統(tǒng)存在的意義，那特氣柜在這里面起到什么作用呢？

沃飛WOFLY特氣柜（GC）是專(zhuān)為易燃易爆、腐蝕性、毒性等危險(xiǎn)性特種氣體供應(yīng)而設(shè)計(jì)的特氣設(shè)備，按類(lèi)別可分為：全自動(dòng)、半自動(dòng)和手動(dòng)操作。沃飛WOFLY全自動(dòng)特氣柜（GC）基本功能包括自動(dòng)吹掃、自動(dòng)切換以及緊急情況下的自動(dòng)安全切斷（當(dāng)設(shè)定報(bào)警信號(hào)被觸發(fā)時(shí)）。

沃飛WOFLY全自動(dòng)特氣柜（GC）以PLC為控制主體，配合觸摸屏進(jìn)行系統(tǒng)顯示和設(shè)定，實(shí)現(xiàn)設(shè)備安全有效的運(yùn)行。其內(nèi)部PLC程式設(shè)計(jì)的安全聯(lián)鎖功能、高純閥件的合理選擇和布局，既滿(mǎn)足了半導(dǎo)體工藝生產(chǎn)過(guò)程中對(duì)特殊氣體連續(xù)供給和高純度的要求，同時(shí)也確保了工廠(chǎng)正常生產(chǎn)和員工人身安全。

沃飛WOFLY全自動(dòng)特氣柜（GC）擁有SIME 2認(rèn)證，在產(chǎn)品品質(zhì)和功能都是可以信賴(lài)和放心的，還可根據(jù)不同的氣體特性和氣體使用要求，搭配不同的盤(pán)面設(shè)計(jì)，可以滿(mǎn)足客戶(hù)的行業(yè)需求。

綜上，特氣系統(tǒng)工程是一項(xiàng)比較重要又危險(xiǎn)的工程，特氣柜是關(guān)系其中大部分功能的核心設(shè)備，沒(méi)有特氣柜的特氣系統(tǒng)工程是不完整的。感謝您的閱讀，更多特氣系統(tǒng)詳情，請(qǐng)關(guān)注我們！