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化學(xué)氣相沉積(CVD)材料生長(zhǎng)設(shè)備的配氣氣路裝置

2020-03-26 14:54:06        0

化學(xué)氣相淀積方法是半導(dǎo)體研究界和產(chǎn)業(yè)界中應(yīng)用最為廣泛的用于制備薄膜材 料的常用方法之一,可制備的薄膜材料包括大多數(shù)半導(dǎo)體薄膜、介質(zhì)薄膜、金屬及合 金薄膜。
隨著半導(dǎo)體器件性能的提高,對(duì)于材料的質(zhì)量要求也隨之提高。


對(duì)于CVD材料 生長(zhǎng)設(shè)備來(lái)說(shuō),要獲得高質(zhì)量的材料,首先必須保證作為反應(yīng)物的氣源由源區(qū)至反應(yīng) 區(qū)的輸運(yùn)及控制過(guò)程中的純度,即保證整個(gè)配氣氣路的氣密性。目前,CVD材料生 長(zhǎng)設(shè)備的配氣氣路一般采用卡套式管接頭或VCR接頭來(lái)實(shí)現(xiàn)輸氣管道、控制元件之 間的密封連接。

VCR接頭氣密性比較好,安裝拆卸方便,但價(jià)格較貴。為降低實(shí)驗(yàn)及生產(chǎn)成本, 常采用卡套式管接頭實(shí)現(xiàn)氣路的密封連接。卡套式管接頭具有結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、重量輕、體 積小、使用方便、不用焊接,而且具有良好的耐壓性、耐振動(dòng)性、耐熱性及可靠的密 封性,價(jià)格遠(yuǎn)低于VCR接頭。


采用卡套式管接頭進(jìn)行氣路連接,成本較低的同時(shí)又 能保證連接處的氣密性,但安裝時(shí)就必須從整個(gè)氣路的一端開(kāi)始逐個(gè)安裝到另一端, 固定一端接頭體后插入長(zhǎng)度合適的金屬管并固定卡套,再安裝另一端的卡套及接頭體 并固定接頭體和卡套;需要修理或拆卸時(shí)也必須從整個(gè)氣路的某一端丌始拆卸到需要 檢修或替換的部件為止。


這就給配氣裝置的氣路維護(hù)帶來(lái)了很大的不便,尤其是當(dāng)氣 路中的某一個(gè)控制元件需要替換時(shí),就必須從氣路的一端開(kāi)始到需要替換的部件為 止,將其間的氣路管道和控制元件全部依次拆卸。


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